· Struttura di sostegno cellulare a tre strati in acciaio inossidabile ad alta conduttività magnetica Icr17

· Materiale di isolamento con ammortizzatore professionale di precisione e tappeto di isolamento di ammortizzazione di livello nazionale

· Frequenza intrinseca minima fino a 3Hz, prestazioni di ammortizzazione elevate

· Possibilità di personalizzare il modello secondo le esigenze del cliente (Lcarattere,Tcarattere,VPiattaforma ottica di precisione

· Pianità non superiore a 0,05 mm/㎡

· Ruggitudine della superficie inferiore a 0.8um ~ 1.6um

Frequenza intrinseca da 3Hz a 6Hz

Amplitude non superiore a 5um

• Precisione di posizionamento ripetuta+0.05mm