Nella preparazione dell'acqua ultrapura, l'interpretazione del TOC (carbonio organico totale) è fondamentale, utilizzando la tecnologia UV-185nm a bassa pressione ad alta energia e in combinazione con il stericida UV-254nm, in grado di produrre radicali idrossili liberi nell'acqua attraverso un'alta dose di fotocatalisi UV-185nm, ossidazione e degradazione della materia organica nell'acqua per ridurre il contenuto di TOC nell'acqua