Sintesi
I flussimetri di massa sono componenti molto critici nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori. La stabilità del suo lavoro tende a diventare un fattore chiave per il successo o il fallimento dei processi semiconduttori.
HORIBA STEC, Come produttore di misuratori di flusso con una quota di mercato globale superiore al 35%*1, da tempo forniamo costantemente prodotti di alta qualità e versatili per l'industria dei semiconduttori. Ora, con una tecnologia completamente nuova, HORIBA STEC sta lanciando in tutto il mondo un nuovo tipo di regolatore di flusso di massa: la serie Z500.
Rispetto ai vecchi modelli, la serie Z500X rappresenta una nuova svolta e è destinata a cambiare il futuro della tecnologia di controllo del flusso. Offrendo al cliente tutte le funzionalità necessarie per il controllo del flusso, la conversione di gas compositi, flussi compositi è possibile. I clienti possono cambiare facilmente il tipo e la portata del gas del flussimitro in base alle esigenze del processo*2.
Inoltre, grazie all'innovazione tecnologica nei materiali dei prodotti, la serie Z500 soddisfa pienamente i requisiti di progettazione dei prodotti RoHS green, aumentando il valore dei prodotti per i clienti.
I flussimetri ad alte prestazioni della serie Z500 ti sorprenderanno ancora di più. Il mondo sta assistendo alla nascita di questo nuovo tipo di misuratore di flusso di massa che sta per trasformare l'intera industria dei semiconduttori.
*1 Riferimento allo studio VLSI del 2007.
*2 Gas composto, funzione di flusso composto.
Caratteristiche
Alta precisione: impostazione del valore di flusso ± 1,0%.
La precisione lineare dell'MFC è compensata dalla curva di approssimazione polinomiale, che garantisce un'alta precisione di controllo in ogni intervallo di controllo. Per migliorare la precisione del controllo dei vari tipi di gas effettivi, HORIBA STEC ha sviluppato sistemi standard di misurazione dei gas e raccolto dati di taratura per vari gas di processo sulla base di numerosi esperimenti.
Risposta ad alta velocità
SEC-Z500X utilizza l'ultimo sistema "PID modificabile" sviluppato per garantire che la modifica tra due punti di flusso impostati sia effettuata in un secondo. Quando si impostano flussi diversi, i dati PID vengono regolati automaticamente e ottimizzati automaticamente per una risposta ad alta velocità anche dopo cambiamenti del tipo di gas e della gamma di flusso.
Gas composti, soluzioni di flusso composto
I nuovi prodotti HORIBA STEC consentono ai clienti di cambiare facilmente il tipo di gas e il flusso in loco. Il nostro software di configurazione Z500 è semplice e facile da usare. Meglio ancora, il completamento di queste modifiche non richiede nemmeno lo smontaggio dell'MFC dal sistema. In questo modo è possibile ridurre notevolmente il numero di ricambi del cliente, risparmiando tempo e costi.
Prodotti correlati e altro